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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆生产制造线设施的超去离子水系统的,时刻引起含硅化工废水150吨。化工废泥里虽无血本属,但硅份量高易水垢,且电阻功率率需达到18MΩ·cm才可造纸废水净化处理。已有净化处理工学艺未能需要满足新颁布法律的《智能电子工业品水空气空气污染物废气物原则》(GB39731-2020)尤其废气物允许值。 化工废水化学物质显著特点 重点污染问题物 :悬浊液硅(200-300mg/L)、粒状硅(孔径0.1-1μm) 特殊性标准要求 :TOC<10μg/L,硼含碳量<5μg/L 水体质量性状 :低导电率(<50μS/cm)但硅氧化物要素复杂化 除理艺步骤流程 特色化使用"梯级膜剥离+电去铝离子"搭配组合加工制作工艺 : 微滤预处里 :1μm瓷砖膜阻止大科粒硅,通量恢复80LMH 化合物置换不饱和树脂 :D201大孔树酯采用性吸附剂硅酸团伙 两级RO系统 :首先段回收分类处理率60%,第十二段采取高脱硼膜器件 EDI电去正离子 :感应电流黏度2A/m²,定期清掉残存亚铁离子 紫外光除臭 :254nm红外光谱线含量40mJ/cm² 技艺短板 定制开发通用型阻硅剂(生物碳胺类组合物),减轻膜废弃物生长期3倍 EDI引擎企业创新流道设计的,硅清掉率升降至99.8% 线下硅剖析仪(测量方法使用范围0.1-500μg/L)把控正确把控 进行转化效果 经第3方在线检测: 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L降下来0.3μg/L 软件再利用率从原40%升高至68% 膜修改时间段减少至5年,年开机运行价格降底35%

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