该晶圆研制厂座落华中省份,主要生育89英寸半导体器件晶圆,单日废水处理方法排放出物量约800吨。是由于生育历程中运行不少盐酸实现晶圆蚀刻,会造成废水处理方法中氟化物含量可以达到200-300mg/L,远超发展中国家排放出物标准(10mg/L下面)。
生产废水有效成分及由来
生活污水大部分来5个节点:
晶圆蚀刻生产工艺
:含母液值氟化物(HF)、硝酸铵及一些巨资属
药剂学自动化机械镜面抛光(CMP)废水处理
:含nm级硅粉末、有机酸络合剂
机器家电清洗废气
:含异丙醇、挥发酚等设计物
进行处理技艺程序流程
选择"有机化学乳浊液+水泥混凝土乳浊液+角度滤出"四级解决系统的:
三级加工处理
:加药氯化钙和氢氧化的钙,变成氟化钙水解,氟化物祛除率达85%
三级整理
:放入PAC(配位聚铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),清除氢氧化铁态严重空气污染物
三级职业资格证书治疗
:完成多媒质油烟净化器器和活性氧炭吸,喷水氟化物盐浓度平稳在8mg/L以內
要点机械还包括:pH系统性自动调整系统性、斜管积淀池、板框厢式压滤机(活性污泥脱水怎么办)。
终极特效
创业项目电脑运行几年数据监测库数据库界面显示:
氟化物平均的氨水浓度:7.2mg/L(不超过地方基准)
COD除去率:92%
污水水分含量率:≤65%
年收售氟化钙副產品约150吨,保持市场化再生利用